等離子體蝕刻對(duì)SM的影響
把集成電路芯片在一定溫度下放置一定時(shí)間，但并不施加電流，在有些情況下，我們也可 以觀察到金屬導(dǎo)線上出現(xiàn)了缺口或者空洞，甚至斷開，這種現(xiàn)象一般是在應(yīng)力遷移(sm) 作用下發(fā)生。當(dāng)金屬所受的機(jī)械應(yīng)力大于其屈服應(yīng)力，金屬會(huì)發(fā)生與時(shí)間相關(guān)的塑性形變。 在固定機(jī)械應(yīng)力條件下，隨時(shí)間發(fā)生的持續(xù)變形現(xiàn)象稱為蠕變(creep)，蠕變變形會(huì)持續(xù)進(jìn)行直到應(yīng)力水平回到屈服應(yīng)力之下或者直到發(fā)生破壞。ic中應(yīng)力遷移其實(shí)就是機(jī)械應(yīng)力作用引起的金屬原子輸運(yùn)過程，其失效通常由蠕變驅(qū)動(dòng)，本質(zhì)是芯片金屬互連層中的應(yīng)力釋放，應(yīng)力釋放的結(jié)果之一是在金屬層中形成空洞。
機(jī)械應(yīng)力的產(chǎn)生是因?yàn)樵诩呻娐返慕饘倩ミB和保護(hù)絕緣層工藝中會(huì)有不少高溫過程， 由于金屬材料和絕緣材料的熱膨脹系數(shù)不一樣，這些高溫過程會(huì)在金屬層鋁或銅中引入較大 的應(yīng)力，機(jī)械應(yīng)力的大小與溫度成反比。應(yīng)力所造成的金屬層中空洞的成核或生長是一種擴(kuò) 散過程，其與溫度成正比。在機(jī)械應(yīng)力與擴(kuò)散兩種效應(yīng)的綜合作用下，應(yīng)力遷移誘發(fā)的空洞成核速率在某一溫度下達(dá)到峰值。這個(gè)溫度依賴于導(dǎo)體和周圍絕緣體的性質(zhì)，一般約為150~200℃。銅晶界上的空位在應(yīng)力梯度作用下移動(dòng)，聚集而形成空洞。銅互連通孔底部為由多種金屬材料組成的不連續(xù)結(jié)構(gòu)，其應(yīng)力相對(duì)較小，因此空位傾向于向通孔底部移動(dòng)和聚集，周圍銅晶界以及銅與電介質(zhì)阻擋層界面提供了空位來源。當(dāng)單一通孔置于很寬的銅線上時(shí)，這種效應(yīng)嚴(yán)重，因?yàn)閷挼你~線內(nèi)可提供的空位非常充足，可以使空洞不斷長大而形成斷路。
應(yīng)力遷移現(xiàn)象可以由mcpherson和dunn提出的蠕變率(creep rate)模型來描述，其失效時(shí)間模型為
tf=b0(t0-t)-nexp(ea/kbt) （7-17）
其中，t0為金屬無應(yīng)力時(shí)的溫度，對(duì)cu來說近似為沉積時(shí)的溫度；n為溫差指數(shù)因子；ea為金屬擴(kuò)散相關(guān)的激活能。
工程上一般將樣品置于特定溫度下烘烤特定時(shí)間，根據(jù)烘烤前后電阻的變化比值來評(píng)價(jià) sm。分別為烘烤后通孔接觸電阻上升85%和200%的樣品的tem圖片，可以看出當(dāng)空洞正好位于通孔正下方時(shí)，電阻上升幅度更大。
根據(jù)sm的原理，對(duì)sm影響大的一般是薄膜沉積工藝，如cu沉積時(shí)的微結(jié)構(gòu)控制，金屬阻擋層沉積時(shí)對(duì)下層金屬的濺射量，電介質(zhì)熱膨脹系數(shù)控制，銅中合金的影響等。蝕刻對(duì)sm的影響主要有兩個(gè)方面。一個(gè)是蝕刻后通孔的形貌，如果溝槽和通孔連接處出現(xiàn)小柵欄狀形貌，銅填充后在通孔內(nèi)會(huì)出現(xiàn)空洞，導(dǎo)致sm很早失效。第二是通孔底部的聚合物殘 留多少以及對(duì)底部銅表面處理工藝，zhou等探討了不同的蝕刻后處理（post etch treatment，pet)工藝對(duì)sm的影響，使用n2/h2氣體的pet比co2能更好地清除通孔底部的聚合物殘留，并且對(duì)通孔底部銅進(jìn)行還原，明顯地提高了sm性能。
粉末混合機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)方法大全
人參凍干機(jī)設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展前景
長春市生活超市開門嗎（長春市超市幾號(hào)開門）
丹麥到香港包清關(guān)可信嗎（香港清關(guān)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)）
GasCheck Tesla氦氣泄漏檢測(cè)儀主要性能特點(diǎn)
等離子體蝕刻對(duì)SM的影響
河南厚康物流有限公司 河南厚德物流公司
白色四氟樓梯板
貼標(biāo)機(jī)生產(chǎn)廠家貼標(biāo)過程中標(biāo)簽底紙斷裂怎么處理
美國海運(yùn)海關(guān)舉報(bào)（美國海運(yùn)海卡時(shí)效）
fba收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)是什么？
耐腐蝕四氟密封墊，壓力表四氟墊應(yīng)用范圍
國際快遞和國際專線有什么區(qū)別？有哪些優(yōu)劣勢(shì)？
鋼結(jié)構(gòu)防火涂料隔熱效率試驗(yàn)爐的依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)GB14907-2018
轉(zhuǎn)盤軸承安裝轉(zhuǎn)盤軸承作用
洛杉磯港、長灘港出新規(guī)：對(duì)白天托運(yùn)卡車收費(fèi)翻倍
在國外從深圳寄快遞到英國多久能到
壓縮機(jī)制冷溫度怎么控制?
純水設(shè)備保養(yǎng)注意事項(xiàng)
美國海運(yùn)港口費(fèi)用（美國海運(yùn)費(fèi)用一覽表）
機(jī)械應(yīng)力的產(chǎn)生是因?yàn)樵诩呻娐返慕饘倩ミB和保護(hù)絕緣層工藝中會(huì)有不少高溫過程， 由于金屬材料和絕緣材料的熱膨脹系數(shù)不一樣，這些高溫過程會(huì)在金屬層鋁或銅中引入較大 的應(yīng)力，機(jī)械應(yīng)力的大小與溫度成反比。應(yīng)力所造成的金屬層中空洞的成核或生長是一種擴(kuò) 散過程，其與溫度成正比。在機(jī)械應(yīng)力與擴(kuò)散兩種效應(yīng)的綜合作用下，應(yīng)力遷移誘發(fā)的空洞成核速率在某一溫度下達(dá)到峰值。這個(gè)溫度依賴于導(dǎo)體和周圍絕緣體的性質(zhì)，一般約為150~200℃。銅晶界上的空位在應(yīng)力梯度作用下移動(dòng)，聚集而形成空洞。銅互連通孔底部為由多種金屬材料組成的不連續(xù)結(jié)構(gòu)，其應(yīng)力相對(duì)較小，因此空位傾向于向通孔底部移動(dòng)和聚集，周圍銅晶界以及銅與電介質(zhì)阻擋層界面提供了空位來源。當(dāng)單一通孔置于很寬的銅線上時(shí)，這種效應(yīng)嚴(yán)重，因?yàn)閷挼你~線內(nèi)可提供的空位非常充足，可以使空洞不斷長大而形成斷路。
應(yīng)力遷移現(xiàn)象可以由mcpherson和dunn提出的蠕變率(creep rate)模型來描述，其失效時(shí)間模型為
tf=b0(t0-t)-nexp(ea/kbt) （7-17）
其中，t0為金屬無應(yīng)力時(shí)的溫度，對(duì)cu來說近似為沉積時(shí)的溫度；n為溫差指數(shù)因子；ea為金屬擴(kuò)散相關(guān)的激活能。
工程上一般將樣品置于特定溫度下烘烤特定時(shí)間，根據(jù)烘烤前后電阻的變化比值來評(píng)價(jià) sm。分別為烘烤后通孔接觸電阻上升85%和200%的樣品的tem圖片，可以看出當(dāng)空洞正好位于通孔正下方時(shí)，電阻上升幅度更大。
根據(jù)sm的原理，對(duì)sm影響大的一般是薄膜沉積工藝，如cu沉積時(shí)的微結(jié)構(gòu)控制，金屬阻擋層沉積時(shí)對(duì)下層金屬的濺射量，電介質(zhì)熱膨脹系數(shù)控制，銅中合金的影響等。蝕刻對(duì)sm的影響主要有兩個(gè)方面。一個(gè)是蝕刻后通孔的形貌，如果溝槽和通孔連接處出現(xiàn)小柵欄狀形貌，銅填充后在通孔內(nèi)會(huì)出現(xiàn)空洞，導(dǎo)致sm很早失效。第二是通孔底部的聚合物殘 留多少以及對(duì)底部銅表面處理工藝，zhou等探討了不同的蝕刻后處理（post etch treatment，pet)工藝對(duì)sm的影響，使用n2/h2氣體的pet比co2能更好地清除通孔底部的聚合物殘留，并且對(duì)通孔底部銅進(jìn)行還原，明顯地提高了sm性能。
粉末混合機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)方法大全
人參凍干機(jī)設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展前景
長春市生活超市開門嗎（長春市超市幾號(hào)開門）
丹麥到香港包清關(guān)可信嗎（香港清關(guān)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)）
GasCheck Tesla氦氣泄漏檢測(cè)儀主要性能特點(diǎn)
等離子體蝕刻對(duì)SM的影響
河南厚康物流有限公司 河南厚德物流公司
白色四氟樓梯板
貼標(biāo)機(jī)生產(chǎn)廠家貼標(biāo)過程中標(biāo)簽底紙斷裂怎么處理
美國海運(yùn)海關(guān)舉報(bào)（美國海運(yùn)海卡時(shí)效）
fba收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)是什么？
耐腐蝕四氟密封墊，壓力表四氟墊應(yīng)用范圍
國際快遞和國際專線有什么區(qū)別？有哪些優(yōu)劣勢(shì)？
鋼結(jié)構(gòu)防火涂料隔熱效率試驗(yàn)爐的依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)GB14907-2018
轉(zhuǎn)盤軸承安裝轉(zhuǎn)盤軸承作用
洛杉磯港、長灘港出新規(guī)：對(duì)白天托運(yùn)卡車收費(fèi)翻倍
在國外從深圳寄快遞到英國多久能到
壓縮機(jī)制冷溫度怎么控制?
純水設(shè)備保養(yǎng)注意事項(xiàng)
美國海運(yùn)港口費(fèi)用（美國海運(yùn)費(fèi)用一覽表）